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硅材料中氧含量的测试惰性气体熔融红外法即将实施

Test method for the oxygen concentration in silicon materials—Inert gas fusion infrared detection method

标准号：GB/T 38976-2020

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基本信息

标准号：GB/T 38976-2020

发布时间：2020-07-21

实施时间：2021-06-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：王永涛、孙燕、徐新华、胡金枝、任丹雅、赵志婷、蔡丽艳、杨素心、陆敏、林兴乐

出版机构：中国标准出版社

标准分类：半金属及半导体材料分析方法

ICS分类：金属材料试验

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

起草单位：有研半导体材料有限公司、上海合晶硅材料有限公司、有色金属技术经济研究院、北京聚睿众邦科技有限公司、厦门银固美能源科技有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)

发布部门：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了采用惰性气体熔融及红外技术测试硅材料中氧含量的方法。本标准适用于不同导电类型、不同电阻率范围的硅单晶、多晶硅中氧含量的测试，测试范围为2.5×1015 cm-3（0.05 ppma）～2.5×1018 cm-3（50 ppma）。注：硅材料中的氧含量以每立方厘米中的原子数计。

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