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砷化镓单晶位错密度的测试方法
Test method for dislocation density of monocrystal gallium arsenide
标准号:GB/T 8760-2020
基本信息
标准号:GB/T 8760-2020
发布时间:2020-09-29
实施时间:2021-08-01
首发日期:
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:赵敬平、林泉、于洪国、惠峰、刘淑凤、姚康、许所成、许兴、马英俊、王彤涵、赵素晓、韦圣林、陈晶晶、付萍
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 金属物理性能试验方法
ICS分类:金属材料试验
提出单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位:有研光电新材料有限责任公司、云南临沧鑫圆锗业股份有限公司、国合通用测试评价认证股份公司、中国电子科技集团第四十六研究所、广东先导稀材股份有限公司、雅波拓(福建)新材料有限公司
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了砷化镓单晶位错密度的测试方法。本标准适用于、面砷化镓单晶位错密度的测试,测试范围为0 cm-2~100 000 cm-2 。
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