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电子工业用气体 六氟化钨
电子工业用气体 六氟化钨 现行
Gases for electronic industry—Tungsten hexaflouride
标准号：GB/T 32386-2015
基本信息
标准号：GB/T 32386-2015
发布时间：2015-12-31
实施时间：2016-07-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 工业气体与化学气体
ICS分类：工业气体
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
起草单位：中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)
标准简介
本标准规定了六氟化钨的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运和安全。本标准适用于化学合成法制取并经精制纯化的六氟化钨。该产品主要用于电子工业中金属钨化学气相沉积工艺、钨材料的制备等。分子式:WF6。分子量:297.8304192(按2009年国际相对原子质量计算)。
标准摘要
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本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。 本标准起草单位:中国船舶重工集团公司第七一八研究所、厦门钨业股份有限公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、上海仪盟电子科技有限公司。 本标准主要起草人:郑秋艳、江海风、王占卫、方兰兰、林竹光、王志信、方华、杨任、周鹏云。 |
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