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单晶炉 TDR系列直拉法单晶炉废止

Crystal growing furnaces TDR-series crystal growing furnaces by Czochralski method

标准号：JB/T 10439-2004

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基本信息

标准号：JB/T 10439-2004

发布时间：2004-03-12

实施时间：2004-08-01

首发日期：

出版单位：机械工业出版社查看详情>

起草人：陈巨才

作废日期：2017-05-12

出版机构：机械工业出版社

标准分类：工业电热设备

ICS分类：电炉

提出单位：中国机械工业联合会

起草单位：西安理工大学晶体生长设备研究所

归口单位：全国工业电热设备标委会

发布部门：中华人民共和国国家发展和改革委员会

标准简介

本标准规定了对TDR系列直拉法单晶炉的各项要求，包括品种规格、技术要求、试验方法、检验规则及订购和供货等。本标准适用于直拉法拉制半导体硅、锗等单晶的单晶炉。

替代情况

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