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MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法
MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验方法 现行
Wafer level test methods for MEMS piezoresistive pressure-sensitive die performances
标准号：GB/T 33922-2017
基本信息
标准号：GB/T 33922-2017
发布时间：2017-07-12
实施时间：2018-02-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：张威、程红兵、陈得民、李海斌、崔波、石云波、朱悦
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 微电路综合
ICS分类：集成电路、微电子学
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京必创科技股份有限公司、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了MEMS压阻式压力敏感芯片（简称压力敏感芯片）的术语和定义、试验条件、试验的一般规定、试验内容和方法。 本标准适用于闭环和开环MEMS压阻式压力敏感芯片性能的圆片级试验。
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