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电子工业用气体高纯氯现行

Gases for electronic industry—High purity chlorine

标准号：GB/T 18994-2014

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基本信息

标准号：GB/T 18994-2014

发布时间：2014-12-22

实施时间：2015-07-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

起草单位：西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了高纯氯的技术要求、试验方法、检验规则及包装、标志、运输和储存。本标准适用于以工业液氯为原料,采用物理吸附等过程生产的高纯氯产品。该产品主要用于大规模集成电路、光导纤维、高温超导、平板显示器、太阳能等技术领域。分子式:Cl2。相对分子质量:70.90(按2009年国际相对原子质量计算)。

标准摘要

本标准按照 GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准代替 GB/T18994—2003《电子工业用气体高纯氯》。与 GB/T18994—2003相比,除编辑性修改外主要技术内容变化如下:
———修改了范围(见第1章,2003年版的第1章);
———修改了规范性引用文件(见第2章,2003年版的第2章);
———修改了技术要求(见第3章,2003年版的第3章);
———修改了抽样、判定(见4.1,2003年版的第5章);
———删去了取样装置的规定(2003年版的4.1);
———修改了氧、氮、一氧化碳、二氧化碳、烃含量的测定方法(见4.3,2003年版的4.3、4.4);
———增加了氢含量的测定方法(见4.3);
———修改了水分含量的测定方法(见4.4,2003年版的4.5);
———增加了金属元素含量的测定方法(见4.5);
———修改了标志、包装、贮运及安全(见第5章,2003年版的第6、7章)。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归口。
本标准起草单位:西南化工研究设计院有限公司、光明化工研究设计院有限公司、佛山市华特气体有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、太和气体(荆州)有限公司、上海仪盟科技有限公司。
本标准主要起草人:周鹏云、常侠、廖恒易、方华、刘新明、汪正宏、杨任。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T18994—2003。

替代情况

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引用标准

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本标准相关公告

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采标情况

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