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靶材与背板结合强度测试方法
Test methods of the bonding strength for target-backing plate assemblies
标准号:GB/T 39163-2020
基本信息
标准号:GB/T 39163-2020
发布时间:2020-11-19
实施时间:2021-10-01
首发日期:
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:丁照崇、陈明、赵永善、熊晓东、贺昕、林若虚、李勇军、张晓娜、曹欢欢、王云能、袁海军、李利利、曹晓萌、张静、王传军
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 金属力学性能试验方法
ICS分类:机械试验
提出单位:中国有色金属工业协会
起草单位:有研亿金新材料有限公司、有色金属技术经济研究院、宁波江丰电子材料股份有限公司、山东淄博汉能薄膜太阳能有限公司、贵研铂业股份有限公司
归口单位:全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布部门:国家市场监督管理总局 国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了靶材与背板结合强度测试方法。本标准适用于微电子领域镀膜用靶材与背板结合强度测试方法。
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