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含工艺腔室类集成电路装备设计信息模型现行

Information model for containing process chamber IC equipment design

标准号：GB/T 37959-2019

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基本信息

标准号：GB/T 37959-2019

发布时间：2019-08-30

实施时间：2020-03-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：顾明、程嘉、李丽、季林红、陈莉、曹自立、张颖、黎晓东、王海丹、王峰

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子计算机应用

ICS分类：信息技术在工业上的应用

提出单位：中国机械工业联合会

起草单位：中车信息技术有限公司、清华大学、北京机械工业自动化研究所有限公司、中国石油规划总院

归口单位：全国自动化系统与集成标准化技术委员会(SAC/TC 159)

发布部门：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了含工艺腔室类集成电路的IC装备建模仿真设计软件平台信息模型，规定了搭建含工艺腔室类集成电路的IC装备建模仿真设计软件平台的一般性要求。本标准适用于含工艺腔室类集成电路装备的建模仿真设计软件。

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