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半导体器件微机电器件 MEMS总规范现行

Semiconductor devices—Micro-electromechanical devices—Generic specification for MEMS

标准号：GB/T 32817-2016

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基本信息

标准号：GB/T 32817-2016

发布时间：2016-08-29

实施时间：2017-03-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：李海斌、崔波、刘伟、石云波、裘安萍、施芹、杨拥军、刘冲

出版机构：中国标准出版社

标准分类：微电路综合

ICS分类：其他半导体器件

提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

起草单位：中机生产力促进中心、中国电子科技集团公司第十三研究所、中北大学、南京理工大学、大连理工大学

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准描述了用半导体制造的微机电系统（MEMS）的总规范，规定了用于IECQ-CECC体系质量评定的一般规程，给出了电、光、机械和环境特性的描述和测试的总则。本标准适用于各类MEMS器件[如传感器、射频MEMS，但不包括光MEMS、生物MEMS、微全分析系统（Micro-TAS）和微能源MEMS]。

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