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电子工业用气体氢现行

Gas for electronic industry—Hydrogen

标准号：GB/T 16942-2009

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基本信息

标准号：GB/T 16942-2009

发布时间：2009-10-30

实施时间：2010-05-01

首发日期：1997-08-13

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：周泽义、周鹏云

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用氢的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以氢气为原料经净化制取的瓶装、集装格装和管道输送的电子工业用氢气。它们主要被用来提供还原气氛,作为外延工艺的载气以及等离子体蚀刻剂的配气原料。

标准摘要

本标准代替GB/T16942-1997《电子工业用气体氢》。
本标准与GB/T16942-1997相比主要变化如下:
---修改电子工业用氢的适用范围(GB/T16942-1997的第1章,本版的第1章);
---修改规范性引用文件(GB/T16942-1997的第2章,本版的第2章);
---修改技术指标内容(GB/T16942-1997 的第3章,本版的第3章);
---修改电子工业用氢抽样规则(GB/T16942-1997的4.1,本版的4.1.1、4.1.2);
---修改电子工业用氢采样要求(GB/T16942-1997的4.2,本版的4.1.3);
---修改氮、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(16942-1997的4.4、4.6,本版的4.3);
---修改总烃分析方法的检测限(16942-1997的4.7,本版的4.5);
---修改水分含量的分析方法(16942-1997的4.8,本版的4.7);
---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16942-1997的第5章,本版的第5章);
---增加规范性附录A,并把采用氦离子化气相色谱法测定电子工业用氢中的氮、一氧化碳、二氧
化碳组分的方法写入该附录(见附录A)。
本标准的附录A 为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:周泽义、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T16942-1997。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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