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微米级长度的扫描电镜测量方法已作废

Micron grade lenght measurement by SEM

标准号：GB/T 16594-1996

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基本信息

标准号：GB/T 16594-1996

发布时间：1996-01-01

实施时间：1997-04-01

首发日期：1996-11-04

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2009-05-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子光学与其他物理光学仪器

ICS分类：长度和角度测量综合

起草单位：上海市测试技术研究所

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了用扫描电镜测量微米级长度的方法，适用于测量0.5～10μm的长度，也适用于电子探针分析仪测量微米级长度。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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