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电子薄膜用高纯铝及铝合金溅射靶材现行

High-purity sputtering aluminium and aluminium alloy target used in electronic film

标准号：GB/T 29658-2013

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基本信息

标准号：GB/T 29658-2013

发布时间：2013-09-06

实施时间：2014-05-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：万小勇、罗俊锋、廖赞、尚再艳、杨华、朱晓光、孙秀霖等

出版机构：中国标准出版社

标准分类：轻金属及其合金

ICS分类：铝和铝合金

起草单位：有研亿金新材料股份有限公司。

归口单位：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC 243)

标准简介

本标准规定了电子薄膜制备用高纯铝及铝合金靶材的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、存贮、订货单(或合同)等内容。本标准适用于电子薄膜用各类高纯铝及铝合金溅射靶材(以下简称铝靶)。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准由全国有色金属标准化技术委员(SAC/TC243)归口。
本标准负责起草单位:有研亿金新材料股份有限公司。
本标准参加起草单位:宁波江丰电子材料有限公司、新疆众和股份有限公司。
本标准主要起草人:万小勇、罗俊锋、廖赞、尚再艳、杨华、朱晓光、孙秀霖、何金江、熊晓东、王兴权、王学泽、钱红兵、喻洁、刘杰、洪涛、努力古、宋玉萍。

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采标情况

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