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关键尺寸（CD）计量方法
基本信息
标准号：GB/T 17864-1999
发布时间：1999-09-01
实施时间：2000-06-01
首发日期：1999-09-13
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 半导体集成电路
ICS分类：集成电路、微电子学
起草单位：中国科学院微电子中心
归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门：国家质量技术监督局
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准的目的是规定计量系统进行光刻工艺中CD图形尺寸计量精确度的统一方法。本标准不涉及如何用这些计量系统去解决问题，也不涉及工艺中其他影响因素的变化，如大圆片的热处理、曝光机的聚集控制、以及材料等。
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