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TDL-GX 硅芯生长炉
基本信息
标准号：JB/T 12067-2014
发布时间：2014-07-09
实施时间：2014-11-01
首发日期：
出版单位：机械工业出版社查看详情>
起草人：
出版机构：机械工业出版社
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本标准规定了对TDL-GX 硅芯生长炉产品的型号品种规格、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、存储以及定购和供货等。本标准适用于高频感应加热，采用基座法生长硅基发热载体的设备。
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