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硅晶体中间隙氧含量径向变化测量方法已作废

Test method for determination of radial interstitial oxygen variation in silicon

标准号：GB/T 14144-1993

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基本信息

标准号：GB/T 14144-1993

发布时间：1993-02-06

实施时间：1993-10-01

首发日期：1993-02-06

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2010-06-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：金属无损检验方法

ICS分类： 29.040.30

起草单位：中科院上海冶金研究所

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量方法。本标准适用于室温电阻率大于01Ω·cm的硅晶体中间隙氧含量径向变化的测量。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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