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氯硅烷组分含量的测定 气相色谱法
基本信息
标准号：YS/T 1392-2020
发布时间：2020-12-09
实施时间：2021-04-01
首发日期：
出版单位：冶金工业出版社查看详情>
起草人：
出版机构：冶金工业出版社
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本标准规定了气相色谱法测定多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的方法。本标准适用于多晶硅生产用氯硅烷中各组分含量的测定。测定范围（体积分数）：二氯二氢硅为0.01 %～20 %，三氯氢硅、四氯化硅为0.01 %～100 %。
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