基本信息
标准号：YS/T 791-2012
发布时间：2012-11-07
实施时间：2013-03-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 贵金属及其合金
ICS分类：其他有色金属及其合金
起草单位：有研亿金新材料股份有限公司
归口单位：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
主管部门：全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC 243)
标准简介
本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材，其他用途的铂靶材也可参照使用。
标准摘要
|
本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。 本标准由全国有色金属标准化技术委员会(SAC/TC243)归口。 本标准由有研亿金新材料股份有限公司负责起草。 本标准主要起草人:王永辉、朱晓光、杨永刚、杨华、程轶欧、雷继锋、熊晓东、江轩。 |
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