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微机电系统（MEMS）技术 MEMS结构共振疲劳试验方法现行

Micro-electromechanical system technology—Fatigue testing method of MEMS structure using resonant vibration

标准号：GB/T 38447-2020

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基本信息

标准号：GB/T 38447-2020

发布时间：2020-03-06

实施时间：2020-07-01

首发日期：

起草人：张威、张亚婷、于振毅、陆学贵、朱悦、石云波、李海斌、程逸轩、周浩楠、陈得民。

起草单位：北京大学、中机生产力促进中心、北京智芯传感科技有限公司、沈阳国仪检测技术有限公司、浙江博亚精密机械有限公司、中北大学、北京必创科技股份有限公司。

归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

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