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掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线测试方法已作废

Test method for nitrogen-released and gas-absorbed dynamic curve of nitrogen-doped getter

标准号：GB 9506.5-1988

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基本信息

标准号：GB 9506.5-1988

发布时间：1988-06-25

实施时间：1988-01-02

首发日期：1988-06-25

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2011-05-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子技术专用材料

ICS分类： 31.030

起草单位：上海电子管二厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了掺氮吸气剂释氮吸气动态曲线的测试方法，适用于掺氮吸气剂蒸散工艺过程中的释氮吸气动态曲线的测试。测试方法应符合GB 9506.1《吸气剂性能测试方法通则》中的有关规定。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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