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电子工业用气体六氟乙烷现行

Gas for electronic industry—Hexafluoroethane

标准号：GB/T 34091-2017

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基本信息

标准号：GB/T 34091-2017

发布时间：2017-07-31

实施时间：2017-11-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：史婉君、廖恒易、杜汉盛、白占旗、方正、潘义、牛艳东、方华、王鸿、陈熔、林宇巍、邓建平、李健、周鹏云

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

起草单位：浙江省化工研究院有限公司、广东华特气体股份有限公司、四川中测标物科技有限公司、高麦仪器公司、西南化工研究设计院有限公司、上海华爱色谱分析技术有限公司、东莞市联臣电子科技有限公司、国家化学工业气体产品质量监督检验中心(福建)、天津长芦华信化工股份有限公司等

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)

标准简介

本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求，试验方法、包装、标志、贮存、运输和安全。本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。

替代情况

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