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真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量
真空技术 溅射离子泵 性能参数的测量 现行
Vacuum technology - Sputter-ion pumps - Measurement of performance characteristics
标准号：GB/T 25755-2010
基本信息
标准号：GB/T 25755-2010
发布时间：2010-12-23
实施时间：2011-10-01
首发日期：2010-12-23
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 真空技术与设备
ICS分类：真空技术
起草单位：北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所
归口单位：全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC 18)
标准简介
本标准规定了溅射离子泵(以下简称离子泵)性能参数的测量方法。本标准适用于名义体积流率大于10L/s的离子泵。本标准测量体积流率的压力范围从1.5×10-3 Pa到1×10-7 Pa。
标准摘要
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本标准由中国机械工业联合会提出。 本标准由全国真空技术标准化技术委员会(SAC/TC18)归口。 本标准起草单位:北京中科科仪技术发展有限责任公司、沈阳真空技术研究所。 本标准主要起草人:邹蒙、张勤德、朱国精、马殿理、李春影。 |
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