
Gases for electronic industry--Argon
标准号:GB/T 16945-1997
基本信息
标准号:GB/T 16945-1997
发布时间:1997-08-13
实施时间:1998-05-01
首发日期:1997-08-13
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:
作废日期:2010-05-01
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 工业气体与化学气体
ICS分类:工业气体
起草单位:化学工业部西南化工研究院
归口单位:全国半导体材料和设备标准化技术委员会
发布部门:国家技术监督局
主管部门:国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了电子工业用氩的技术要求、试验方法和包装、标志。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态氩和气态氩。
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