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硅单晶切割片和研磨片现行

标准号：YB 1603-1983

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基本信息

标准号：YB 1603-1983

发布时间：1983-08-18

实施时间：1984-10-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

出版机构：中国标准出版社

发布部门：中华人民共和国冶金工业部

标准简介

本标准适用于制造半导体器件（分立器件和集成电路）的三种等直径硅单晶切割片和双面研磨片。用作其他器件的硅单晶切割片和研磨片，可参照本标准确定其相应的技术参数。

替代情况

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引用标准

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