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硅片抗弯强度测试方法已作废

Test method for measuring flexure strength of silicon slices

标准号：GB/T 15615-1995

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基本信息

标准号：GB/T 15615-1995

发布时间：1995-07-12

实施时间：1996-02-01

首发日期：1995-07-12

起草人：

作废日期：2005-10-14

标准分类：金属工艺性能试验方法

ICS分类：金属材料试验综合

起草单位：中南工业大学

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了硅单晶切割片、研磨片和抛光片的抗弯强度测试方法。本标准适用于晶向为〈111〉和〈100〉的直拉、悬浮区熔硅单晶片的常温下抗弯强度的测量。硅片厚度为250～900μm。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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