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蓝宝石单晶位错密度测量方法
蓝宝石单晶位错密度测量方法 现行
Test method for dislocation density of sapphire single crystal
标准号：GB/T 33763-2017
基本信息
标准号：GB/T 33763-2017
发布时间：2017-05-31
实施时间：2017-12-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：薛抗美、黄修康、杭寅、尹继刚、田野、张永波、张毅
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 金属化学性能试验方法
ICS分类：金属材料试验
提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
起草单位：江苏协鑫软控设备科技发展有限公司、中国科学院上海光学精密机械研究所、深圳市中安测标准技术有限公司
归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC 203)、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分会(SAC/TC 203/SC 2)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了蓝宝石单晶位错密度的测量方法。? 本标准适用于抛光加工后位错密度为0个/cm2～100 000个/cm2的蓝宝石单晶位错密度的测量，检测面为{0001}、{1120}、{1012}、{1010}面。
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