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卧式液相外延系统通用规范现行

Generic specification for horizontal liquid phase epitaxial system

标准号：SJ/T 11275-2002

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基本信息

标准号：SJ/T 11275-2002

发布时间：2002-10-30

实施时间：2003-03-01

首发日期：

出版单位：工业电子出版社查看详情>

起草人：

出版机构：工业电子出版社

标准分类：电子设备用绝缘零件

ICS分类：特殊工作条件用电气设备

起草单位：中国电子科技集团公司第四十八所

标准简介

本规范规定了卧式液相外延系统的术语、产品型号及命名方法、技术要求、试验方法、检验规则以及包装、运输、贮存。本规范适用于电子行业光电子器件研制、生产工艺中的卧式液相外延系统。其他行业的类似设备亦可参照执行。

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