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半导体器件外延炉 能耗标准
基本信息
标准号：JB/T 5631-1991
发布时间：1991-08-27
实施时间：1992-07-01
首发日期：
出版单位：机械工业出版社查看详情>
起草人：赵伟、郭瑞春
作废日期：2017-05-12
出版机构：机械工业出版社
标准分类： 技术管理
提出单位：机械电子工业部生产司
起草单位：国营北京七七四厂
归口单位：机械电子工业部机械标准化研究所
发布部门：机械电子工业部
标准简介
本标准规定了半导体器件外延炉（以下简称外延炉）能耗分等。本标准适用于电子工业企业外延炉。
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