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电子工业用气体氩现行

Gas for electronic industry—Argon

标准号：GB/T 16945-2009

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基本信息

标准号：GB/T 16945-2009

发布时间：2009-10-30

实施时间：2010-05-01

首发日期：1997-08-13

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：赵俊秀、周鹏云

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

起草单位：北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了氩的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气、合成氨尾气中提取的液态和气态氩以及经纯化方法得到的氩。氩用于系统的吹扫、保护和增压,它还可以用于化学汽相淀积、溅射、等离子及活性离子刻蚀剂和退火等不同工艺中。

标准摘要

本标准代替GB/T16945-1997《电子工业用气体氩》。
本标准与GB/T16945-1997相比主要变化如下:
---修改氩的适用范围(GB/T16945-1997的第1章,本版的第1章);
---增加规范性引用文件(GB/T16945-1997的第2章,本版的第2章);
---修改技术指标内容:增加一类纯度和杂质含量(GB/T16945-1997的第3章,本版的第3章);
---修改瓶装氩抽样方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.1);
---增加集装阁装、大容积钢质无缝气瓶和杜瓦罐装氩产品并规定检验方法(见4.1.1);
---修改管道输送的氩抽样方法(GB/T16945-1997的4.1.1,本版的4.1.2);
---增加氩的采样安全要求(见4.1.3);
---修改氢、氧、氮、一氧化碳和二氧化碳的测定方法(GB/T16945-1997的4.3、4.4、4.5,本版的4.3);
---增加其他方法测定总烃;当出现多种分析方法时,增加规定仲裁方法(见4.3、4.4、4.5);
---修改水分的测定方法(GB/T16945-1997的4.7,本版的4.5);
---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16945-1997的第5章,本版的第5章)。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体材料和设备标准化技术委员会气体分会归口。
本标准起草单位:北京氦普北分气体工业有限公司、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:赵俊秀、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T16945-1997。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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