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真空镀膜设备通用技术条件已作废

Vacuum coating plant generic specification

标准号：GB/T 11164-1999

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基本信息

标准号：GB/T 11164-1999

发布时间：1999-04-08

实施时间：1999-09-01

首发日期：1989-03-31

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2012-06-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：真空技术与设备

ICS分类：真空技术

起草单位：上海通用机械研究所

归口单位：全国真空技术标准化技术委员会

发布部门：国家质量技术监督局

主管部门：中国机械工业联合会

标准简介

本标准规定了真空镀膜设备技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等。本标准适用于压力在１０－１～１０－３Ｐａ范围的蒸发类、溅射类、离子镀类真空镀膜设备。

替代情况

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引用标准

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