当前位置： 首页 > 硅片直径测量方法光学投影法

硅片直径测量方法光学投影法已作废

Silicon slices and wafers-Measuring of diameter-Optical projecting method

标准号：GB/T 14140.1-1993

获取原文如何获取原文？问客服获取原文，即可享受本标准状态变更提醒服务！

基本信息

标准号：GB/T 14140.1-1993

发布时间：1993-02-06

实施时间：1993-10-01

首发日期：1993-02-06

起草人：

作废日期：2010-06-01

标准分类：半金属

ICS分类：金属材料试验综合

起草单位：洛阳单晶硅厂

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了用光学投影仪测量硅片直径的方法。本标准适用于测量圆形硅片的直径。测量范围为声φ40～φ100mm本标准不适用于测量硅片的不圆度。本标准用作仲裁测量方法。

替代情况

会员注册/登录后查看详情

引用标准

会员注册/登录后查看详情

本标准相关公告

会员注册/登录后查看详情

采标情况

会员注册/登录后查看详情

推荐检测机构

申请入驻

暂未检测到相关机构，邀您申请入驻~

推荐认证机构

申请入驻

暂未检测到相关机构，邀您申请入驻~

推荐培训机构

申请入驻

暂未检测到相关机构，邀您申请入驻~

硅片直径测量方法 光学投影法 已作废