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表面化学分析中等分辨俄歇电子能谱仪元素分析用能量标校准即将实施

Surface chemical analysis—Medium resolution auger electron spectrometers—Calibration of energy scales for elemental analysis

标准号：GB/T 29732-2021

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基本信息

标准号：GB/T 29732-2021

发布时间：2021-12-31

实施时间：2022-07-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：姚文清、杨立平、徐同广、王雅君、段建霞、李展平

出版机构：中国标准出版社

标准分类：基础标准与通用方法

ICS分类：化学分析

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

起草单位：清华大学、中国石油大学(北京)

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

标准简介

本文件规定了俄歇电子能谱仪动能能量标不确定度为3 eV时的校准方法，用于识别表面常规元素。另外，本文件还规定了一种用于确定校准周期的方法。本文件适用于直接模式或微分模式的仪器分辨率小于或等于0.5%，微分模式调制幅度的峰值为 ?2 eV?，配有惰性气体离子枪或其他样品清洁方法，具有4 keV或更高束能电子枪的谱仪。

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