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电子工业用气体硅烷(SiH4) 已作废

Gas for electronic industry－Silane

标准号：GB/T 15909-1995

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基本信息

标准号：GB/T 15909-1995

发布时间：1995-01-02

实施时间：1996-08-01

首发日期：1995-12-20

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2010-05-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

起草单位：化工部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全要求等。本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜淀积等。

替代情况

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