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决绝缘砷化镓单晶微区均匀性测试方法

Test method for microzone homogeneity of semi-insulating monocrystal gallium arsenide
标准号:SJ 20844-2002
基本信息
标准号:SJ 20844-2002
发布时间:2002-10-30
实施时间:2003-03-01
首发日期:
出版单位:工业电子出版社查看详情>
起草人:
出版机构:工业电子出版社
标准分类: 电子技术专用材料
起草单位:中国电子科技集团公司第四十六所
标准简介
本标准规定了半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性测量方法。本标准适用于半绝缘砷化镓晶片中电阻率、碳浓度、EL2浓度和PL谱微区均匀性的测试。
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