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液封直拉法砷化镓单晶及切割片

Liquid encapsulated czochralski-grown gallium arsenide single crystals and as-cut slices
标准号:GB/T 11093-2007
基本信息
标准号:GB/T 11093-2007
发布时间:2007-12-18
实施时间:2008-02-01
首发日期:1989-03-31
出版单位:中国标准出版社查看详情>
起草人:张峰翊、郑安生
出版机构:中国标准出版社
标准分类: 化合物半导体材料
ICS分类:半导体材料
提出单位:国家标准化管理委员会
起草单位:北京有色金属研究总院
归口单位:全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会
发布部门:中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门:国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了液封直拉法砷化镓单晶及切割片的要求、试验方法、检验规则和标志、包装运输贮存等。
标准摘要
本标准是对GB/T11093-1989《液封直拉法砷化镓单晶及切割片》的修订。 本标准与GB/T11093-1989相比,主要有如下变动: ---单晶和切割片的牌号按照GB/T14844《半导体材料牌号表示方法》进行了修订; ---增加了76.2mm(3in)、100mm、125mm 和150mm 规格的产品; ---增加了掺入碳等杂质元素的产品; ---去掉了40mm 规格的产品; ---取消了按位错密度对产品进行分级。 本标准自实施之日起,代替GB/T11093-1989。 本标准由中国有色金属工业协会提出。 本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会归口。 本标准起草单位:北京有色金属研究总院。 本标准主要起草人:张峰翊、郑安生。 本标准所代替标准的历次版本发布情况为: ---GB/T11093-1989。 |
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