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硅外延层和扩散层厚度测定 磨角染色法
基本信息
标准号：YS/T 15-2015
发布时间：2015-04-30
实施时间：2015-10-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 金属物理性能试验方法
ICS分类：金属材料试验
发布部门：中华人民共和国工业和信息化部
标准简介
本标准规定了测定硅外延层和扩散层厚度的磨角染色法。本标准适用于外延层和扩散层与衬底导电类型不同或两层电阻率相差至少一个数量级的任意电阻率的硅外延层和扩散层厚度的测量，测量范围：1μm～100μm。
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