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单晶硅生长用石英坩埚
基本信息
标准号：JC/T 1048-2018
发布时间：2018-10-22
实施时间：2019-04-01
首发日期：
出版单位：建材工业出版社查看详情>
起草人：
出版机构：建材工业出版社
发布部门：工业和信息化部
标准简介
本标准规定了单晶硅生长用石英坩埚的术语和定义、分类和标记、要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。本标准适用于用高纯石英砂做原料，采用电弧法工艺生产，应用于直拉法生长单晶硅材料的石英坩埚。
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