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微束分析薄晶体厚度的会聚束电子衍射测定方法即将实施

Microbeam analysis—Method of thickness measurement for thin crystals by convergent beam electron diffraction

标准号：GB/T 20724-2021

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基本信息

标准号：GB/T 20724-2021

发布时间：2021-12-31

实施时间：2022-07-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：柳得橹、娄艳芝

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电化学、热化学、光学式分析仪器

ICS分类：有关化学分析方法的其他标准

提出单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

起草单位：北京科技大学、中国航发北京航空材料研究院

归口单位：全国微束分析标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门：国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

标准简介

本文件描述了用透射电子显微镜/扫描透射电子显微镜测定薄晶体试样厚度的会聚束电子衍射方法。本文件适用于测定线度为几十纳米至几百微米、厚度在几十纳米至几百纳米范围内的薄晶体试样厚度。注：由于透射电子显微镜薄试样的厚度往往不均匀，用会聚束衍射方法测定的是试样被电子束照明区的局域厚度。

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