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电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法现行

Test method for measuring trace metals in electronic grade water by atomic absorption spectrophotometry

标准号：GB/T 11446.5-2013

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基本信息

标准号：GB/T 11446.5-2013

发布时间：2013-12-31

实施时间：2014-08-15

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：褚连青、王奕、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠

出版机构：中国标准出版社

标准分类：电子技术专用材料

ICS分类： 31-030

提出单位：中华人民共和国工业和信息化部

起草单位：信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所

归口单位：中国电子技术标准化研究院

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：中国电子技术标准化研究院

标准简介

GB/T11446的本部分规定了无火焰(或火焰)原子吸收分光光度计测定电子级水中痕量金属铜、锌、镍、铁、铅、钠和钾的测试方法。也可使用灵敏度相当的其他仪器如电感耦合等离子体/质谱仪(或电感耦合等离子体发射光谱仪)测量。无火焰原子吸收分光光度适用于EW-Ⅰ~EW-Ⅲ级电子级水中痕量金属的测定。方法的检出限(质量分数)应在1×10-9以下。火焰原子吸收分光光度法适用于EW-Ⅳ电子级水中痕量金属的测定。

标准摘要

GB/T11446预计结构如下:
———GB/T11446.1 电子级水;
———GB/T11446.2 (待定);
———GB/T11446.3 电子级水测试方法通则;
———GB/T11446.4 电子级水电阻率的测试方法;
———GB/T11446.5 电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法;
———GB/T11446.6 电子级水中二氧化硅的分光光度测试方法;
———GB/T11446.7 电子级水中痕量阴离子的离子色谱测试方法;
———GB/T11446.8 电子级水中总有机碳的测试方法;
———GB/T11446.9 电子级水中微粒的仪器测试方法;
———GB/T11446.10 电子级水中细菌总数的滤膜培养测试方法。
本部分为GB/T11446的第5部分。
本部分按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本部分代替GB/T11446.5—1997《电子级水中痕量金属的原子吸收分光光度测试方法》。
本部分与GB/T11446.5—1997相比,主要有下列变化:
———“1范围”中增加了用无火焰(或火焰)原子吸收分光光度计测定电子级水中痕量金属铁、铅的测试方法的规定;规定了“也可使用灵敏度相当的其他仪器如电感耦合等离子体/质谱仪(或电感耦合等离子体发射光谱仪)”(见第1章);
———标准中增加了用无火焰(或火焰)原子吸收分光光度计测定电子级水中痕量金属铁、铅的测试方法;
———增加了“3术语和定义”(见第3章);
———增加了“5干扰因素”(见第5章);
———删除了“9注意事项”(1997年版的第9章)。
本部分由中华人民共和国工业和信息化部提出。
本部分由中国电子技术标准化研究院归口。
本部分起草单位:信息产业部专用材料质量监督检验中心、中国科学院半导体研究所、中国电子技术标准化研究院、中国电子科技集团公司第四十六研究所。
本部分主要起草人:褚连青、王奕、何秀坤、段曙光、提刘旺、刘筠。
本部分所代替标准的历次版本发布情况为:
———GB/T11446.5—1989、GB/T11446.5—1997。

替代情况

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