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电子工业用气体氮已作废

Gases for electronic industry--Nitrogen

标准号：GB/T 16944-1997

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基本信息

标准号：GB/T 16944-1997

发布时间：1997-08-13

实施时间：1998-05-01

首发日期：1997-08-13

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：

作废日期：2010-05-01

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

起草单位：化学工业部西南化工研究院

归口单位：全国半导体材料和设备标准化技术委员会

发布部门：国家技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用液态和气态氮的技术要求、检验方法以及包装、标志等，适用于从分离空气或氨还原法制得的氮，在超大规模集成电路制造中用作净化、覆盖、保护、加压，也用于化学气相淀积时的载气等。

替代情况

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引用标准

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