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电子工业用气体氮现行

Gas for electronic industry—Nitrogen

标准号：GB/T 16944-2009

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基本信息

标准号：GB/T 16944-2009

发布时间：2009-10-30

实施时间：2010-05-01

首发日期：1997-08-13

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：周泽义、周鹏云

出版机构：中国标准出版社

标准分类：工业气体与化学气体

ICS分类：工业气体

提出单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会

起草单位：中国计量科学研究院、西南化工研究设计院

归口单位：全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。

标准摘要

本标准代替GB/T16944-1997《电子工业用气体氮》。
本标准与GB/T16944-1997相比主要变化如下:
---修改电子工业用氮的适用范围(GB/T16944-1997的第1章,本版的第1章);
---修改规范性引用文件(GB/T16944-1997的第2章,本版的第2章);
---修改技术指标内容(GB/T16944-1997的第3章,本版的第3章);
---修改电子工业用氮抽样和判定规则(GB/T16944-1997的4.1,本版的4.1);
---增加电子工业用氮采样要求(见4.1.3);
---修改氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.3、4.4、4.6,本版的4.3);
---修改总烃分析方法的检测限(16944-1997的4.7,本版的4.4);
---修改水分含量的分析方法(GB/T16944-1997的4.5,本版的4.6);
---修改标志、包装、贮运及安全(GB/T16944-1997的第5章,本版的第5章);
---增加规范性附录A,并把测定电子工业用氮中的氢、氧、一氧化碳、二氧化碳含量的方法写入该附录(见附录A)。
本标准的附录A 为规范性附录。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会提出。
本标准由全国半导体设备和材料标准化技术委员会气体分技术委员会归口。
本标准起草单位:中国计量科学研究院、西南化工研究设计院。
本标准主要起草人:周泽义、周鹏云。
本标准所代替标准的历次版本发布情况为:
---GB/T16944-1997。

替代情况

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引用标准

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本标准相关公告

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采标情况

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