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扫描电子显微镜校准规范现行

Calibration Specification for Scanning Electronic Microscopes (SEM)

标准号：JJF 1916-2021

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基本信息

标准号：JJF 1916-2021

发布时间：2021-07-28

实施时间：2022-01-28

首发日期：

起草人：李伟、高思田、施玉书

起草单位：中国计量科学研究院

归口单位：全国几何量长度计量技术委员会

发布部门：国家市场监督管理总局

标准简介

本规范适用于扫描电子显微镜的校准。

替代情况

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引用标准

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采标情况

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