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电子工厂化学品系统工程技术规范现行

Technical code for Chemical System of Electronic Factory

标准号：GB 50781-2012

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基本信息

标准号：GB 50781-2012

发布时间：2012-06-28

实施时间：2012-12-01

首发日期：

出版单位：中国计划出版社查看详情>

起草人：李骥崔永祥刘序中王开源李东升王鹏亮张志辉杨春蓉朱海英张家红简建至杜宝强宋燕周礼誉陈盛云吴建华巨龙

出版机构：中国计划出版社

起草单位：信息产业电子第十一设计研究院科技工程股份有限公司、信息产业部电子工程标准定额站

归口单位：中华人民共和国工业和信息化部

发布部门：中华人民共和国住房和城乡建设部

标准简介

本规范适用于电子产业中的集成电路、平板显示器件和太阳能电池等电子工厂生产工艺中的化学品供应系统、化学品回收系统的新建、改建、扩建工程的设计、施工及验收。

标准目录

1 总则
2 术语、缩略语
3 化学品供应系统
4 化学品回收系统
5 化学品监控及安全系统
6 相关专业设计
7 工程施工及验收
本规范用词说明
引用标准名录
附：条文说明

替代情况

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引用标准

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