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表面化学分析深度剖析溅射深度测量现行

Surface chemical analysis—Depth Profiling—Measurment of sputtered depth

标准号：GB/T 29557-2013

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基本信息

标准号：GB/T 29557-2013

发布时间：2013-07-19

实施时间：2014-03-01

首发日期：

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。

出版机构：中国标准出版社

标准分类：基础标准与通用方法

ICS分类：化学分析

提出单位：全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)

起草单位：中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。

归口单位：全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)

发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中国国家标准化管理委员会

主管部门：全国微束标准化技术委员会(SAC/TC 38)

标准简介

本标准规定了溅射深度剖析中测量溅射深度的准则。本标准适用于结合离子轰击剥离部分固体样品的表面化学分析技术,通常溅射深度可达几微米。

标准摘要

本标准按照GB/T1.1—2009给出的规则起草。
本标准使用翻译法等同采用ISO/TR15969:2001《表面化学分析深度剖析溅射深度测量》。
本标准由全国微束标准化技术委员会(SAC/TC38)提出并归口。
本标准负责起草单位:中山大学、浙江大学、中国科学院大连化学物理研究所。
本标准主要起草人:陈建、张训生、谢方艳、龚力、张卫红、盛世善。

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