硅基MEMS制造技术 基于SOI硅片的MEMS工艺规范 现行
Silicon-based MEMS fabrication technology—Specification for criterion of the SOI wafer based MEMS process
标准号：GB/T 32814-2016
基本信息
标准号：GB/T 32814-2016
发布时间：2016-08-29
实施时间：2017-03-01
首发日期：
出版单位：中国标准出版社查看详情>
起草人：苑伟政、谢建兵、李海斌、乔大勇、马志波、常洪龙、刘伟
出版机构：中国标准出版社
标准分类： 微电路综合
ICS分类：集成电路、微电子学
提出单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
起草单位：西北工业大学、中机生产力促进中心
归口单位：全国微机电技术标准化技术委员会(SAC/TC 336)
发布部门：中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局 中国国家标准化管理委员会
主管部门：国家标准化管理委员会
标准简介
本标准规定了采用SOI硅片进行MEMS器件加工时应遵循的工艺要求和质量检验要求。本标准适用于硅基MEMS制造技术中基于SOI硅片的MEMS器件的加工和质量检验。
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