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焦深与最佳聚焦的测量规范现行

Specification for measuring depth of focus and best focus

标准号：GB/T 17865-1999

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基本信息

标准号：GB/T 17865-1999

发布时间：1999-09-01

实施时间：2000-06-01

首发日期：1999-09-13

出版单位：中国标准出版社查看详情>

起草人：陈宝钦、陈森锦、廖温初、刘明

出版机构：中国标准出版社

标准分类：半导体集成电路

ICS分类：集成电路、微电子学

提出单位：中国科学院

起草单位：中国科学院微电子中心

归口单位：SEMI中国标准化技术委员会

发布部门：国家质量技术监督局

主管部门：国家标准化管理委员会

标准简介

本标准只涉及集成电路生产中所用的光刻技术及其关系密切的技术的聚集与焦深测量问题。由于设备技术多种多样，因而不可能提出这些参数的明确测量方法。本标准只提供基本准则。

替代情况

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