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SEMI MF1811:2016(R2021)现行

Guide for Estimating the Power Spectral Density Function and Related Finish Parameters from Surface Profile Data

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息

标准编号： SEMI MF1811:2016(R2021)

标准类别：Guide

出版单位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

标准页数：0

标准简介

There is some confusion in the roughness-measurement community concerning the use of estimators and the calculation of power spectral densities (PSDs) from discrete data sets.

本标准替代的旧标准

SEMI MF1811 : JAN 2016

SEMI MF1811:2016(R2021)现行

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