UNE-EN ISO 14644-15:2018现行
Cleanrooms and associated controlled environments - Part 15: Assessment of suitability for use of equipment and materials by airborne chemical concentration (ISO 14644-15:2017)
出版：Asociacion Espanola de Normalizacion
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基本信息
标准编号： UNE-EN ISO 14644-15:2018
标准类别：Standard
出版单位：Asociacion Espanola de Normalizacion
标准页数：0
等同采用的国际标准
EN ISO 14644-15 : 2017 - Identical
EN ISO 14644-15 : 2017 - Identical
ISO 14644-15 : 2017 - Identical
