NF EN 62047-17:2015现行
Semiconductor Devices - Micro-Electromechanical Devices - Part 17: Bulge Test Method For Measuring Mechanical Properties Of Thin Films
出版：Association Francaise de Normalisation
专家解读视频
基本信息
标准编号： NF EN 62047-17:2015
标准类别：Standard
出版单位：Association Francaise de Normalisation
标准页数：0
标准简介
2015 [01/11/2015]2014 PR [01/01/2014]
标准备注
Indice de classement: C96-050-17. PR NF EN 62047-17 January 2014. (01/2014)
本标准替代的旧标准
等同采用的国际标准
EN 62047-17:2015 - Identical
