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I.S. EN 62047-1:2016现行

Semiconductor Devices - Micro-electromechanical Devices Part 1: Terms and Definitions

出版：National Standards Authority of Ireland

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基本信息

标准编号： I.S. EN 62047-1:2016

发布时间：2016/4/26 0:00:00

标准类别：Standard

出版单位：National Standards Authority of Ireland

标准页数：78

标准简介

Specifies terms for micro-electromechanical devices including the process of production of such devices.

本标准替代的旧标准

I.S. EN 62047-1:2006

等同采用的国际标准

NF EN 62047-1:2016 - Identical

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