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SEMI E186:2021现行

Specification for Location and Dimensions for Power Connectors and Ethercat Ports in Mass Flow Controllers and Mass Flow Meters

出版：Semiconductor Equipment & Materials Institute

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基本信息

标准编号： SEMI E186:2021

标准类别：Standard

出版单位：Semiconductor Equipment & Materials Institute

标准页数：0

标准简介

This Standard establishes the location and physical dimensions of mass flow controllers (MFCs) and mass flow meters (MFMs) using EtherCAT? communication protocol.

SEMI E186:2021现行

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